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商品名称:薄膜厚度测量仪ST2020-DLXn 手动型
 
 薄膜厚度测量仪ST2020-DLXn 手动型
  商品编号: 2013181617
  商品规格:
  商品品牌: K-MAC
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产品规格

波长范围 400~800nm
测量范围 200Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
透镜大小 M5x,M10x
测量光斑尺寸 40㎛,20㎛
测量层数

3

样品台尺寸 200mmX200mm
X,Y,Z机制

辊式导板
移动距离:200mmX200mm

手动聚焦模块 同轴粗微调焦控制
可选部分

SRM(标准参考样片)
光学透镜 M50X(光斑尺寸:4㎛)
CCD摄像头
透射功能

产品特征

快速测量&操作简便
非接触&非破坏性
良好的重复性和再现性
基于用户易操作的界面
各个视图和储存数据的打印功能
测量可达3层&测量精度良好
测量平台尺寸加大
手动型

应用领域

半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介质材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物,ITO,屏间隙,光刻胶与酰亚胺薄膜,石英
Optical Coating:Hardness涂层,增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料:光感导鼓,摄像头,光盘...
其他:示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板,薄金属膜,激光镜,ALQ3...
 
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